طرحي جديد از شتاب سنج خازني با تكنولوژي ميكروماشين و با دو درجه آزادي

یك شتابسنج خازنی با ساختاری نوین و با دو درجه آزادی طراحی و شبیه سازی شده است. ساختار شتابسنج به گونه ای است كه شتاب های وارد شده به سیستم در جهات z و xبا روابط ریاضی ساده قابل تفكیك و اندازه گیری می باشند. این در حالی است كه شتاب اعمال شده در جهتy هیچگونه اثر ناخواسته ای در اندازه گیریهای شتابهای جهات z و x ندارد. این شتابسنج برای اندازه گیری شتاب های تا2g با رزولوشنmg طراحی شده است. نتایج شبیه سازی این ادعا را تایید می كند. ابعاد كلی این ساختار mm2× 2mm × 7μm می باشد.