بررسي خواص حسگري لايه هاي نازك 3 WO نسبت به گاز اتانول

Investigating Sensing Properties of WO3 Thin films towards Ethanol

در این مقاله ساخت و مشخصه یابی و حسگری لایه نازك اكسید تنگستن (WO3) مورد مطالعه قرار گرفت. لایه نازك اكسید تنگستن بر روی زیر لایه شیشه ای با روش مقرون به صرفه ی اسپری پایرولیزیز لایه نشانی شد. خواص ساختاری و مورفولوژی نمونه مورد مطالعه قرار گرفت. الگوی پراش پرتو x نشان دهنده تشكیل ساختار بلوری هگزاگونال می باشد. تصاویر FESEM نشان دهنده شكل گیری نانو دانه هایی با ابعاد حدود 80 تا 100 نانومتر است. حساسیت نمونه مورد نظر نسبت به گاز اتانول در دمای 200°C و غلظت های 100-1000ppm مورد اندازه گیری قرار گرفت. نتایج حسگری نشان داد كه حساسیت نمونه ها به كمترین غلظت (100ppm) معادل 48 % می باشد كه در مقایسه با گزارشات دیگر پاسخ خوبی می باشد.

In this paper, the fabrication and characterization and gas sensing properties of thin film tungsten oxide (WO3) were studied. Tungsten oxide thin films were deposited on glass substrates, using the cost effective technique of spray pyrolysis. Structural properties and surface morphology of samples were studied. X-ray diffraction pattern (XRD) shows the formation of hexagonal crystal structure. FESEM images show the formation of nanograins with sizes of about 80 to 100 nm. Sensing properties of samples towards ethanol gas at 200 º C and 100-1000 ppm gas concentration were measured. The results showed that the sensitivity of samples toward the lowest concentration of ethanol was around 48% which is a good response in comparison with other reports.