شماره ركورد كنفرانس
2011
عنوان مقاله
بررسي خواص نوري لايه هاي نيتريد سيليكون لايه نشاني شده به شيوه كندوپاش RF در محيط پلاسماي آرگ ن
پديدآورندگان
معنوي زاده نگين نويسنده , اصل سليماني ابراهيم نويسنده گروه مهندسي برق وكامپيوتر، دانشكده فني، دانشگاه تهران , ملكي هادي نويسنده , افضل زاده رضا نويسنده
تعداد صفحه
5
كليدواژه
پلاسماي آرگن , درصد عبور نوري
عنوان كنفرانس
سيزدهمين كنفرانس سالانه اپتيك و فوتونيك ايران
زبان مدرك
فارسی
شماره مدرك كنفرانس
1845201
سال انتشار
1385
از صفحه
1
تا صفحه
5
سال انتشار
0
لينک به اين مدرک