Author/Authors :
ELBEYLİ, Serdar Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey , EROL, Mustafa Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Metalurji ve Malzeme Mühendisliği - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey , BİRLİK, Işıl Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey , EBEOĞLUGİL, Mehmet Faruk Dumlupınar Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi - Malzeme ve Seramik Mühendisliği Bölümü, Turkey , MERMER, Ömer Ege Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi - Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü, Turkey , MERMER, Ömer Dokuz Eylül Üniversitesi - Elektronik Malzemeler Üretimi ve Uygulama Merkezi (EMUM), Turkey , YİĞİT, Recep Dokuz Eylül Üniversitesi - İzmir Meslek Yüksek Okulu, Elektronik Malzemeler Üretimi ve Uygulama Merkezi (EMUM), Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik - Teknik Programlar Bölümü, Turkey , TAŞ, Seher Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Metalurji ve Malzeme Mühendisliği, Elektronik Malzemeler Üretimi ve Uygulama Merkezi (EMUM) - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey , TOPARLI, Mustafa Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi, Elektronik Malzemeler Üretimi ve Uygulama Merkezi (EMUM), Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey , ÇELİK, Erdal Dokuz Eylül Üniversitesi - Mühendislik Fakültesi, Elektronik Malzemeler Üretimi ve Uygulama Merkezi (EMUM), Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik - Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Turkey
Abstract :
In this study, processing and characterization of semiconductor SnO2 and Cu doped SnO2 thin films on glass substrate were systematically investigated by using sol-gel technique for gas sensing applications. Solution characteristics such as turbidity, pH values and rheological properties of the prepared solutions were measured by turbidimeter, pH meter, contact angle ganiometer and rheometer machines before coating process. The thermal, structural, microstructural, electrical and gas sensitivity properties of the coatings were extensively characterized by using DTA-TG, FT-IR, XRD, SEM-EDS, refractometer, spectrophotometer and gas sensivity measurement machines. The obtained gel films were dried at 300 °C for 10 min and subsequently heat-treated at 500 °C for 5 min in air as a combination of DTA-TG and FT-IR results. The oxide thin films were annealed at 600 °C for 60 min in air. SnO2 cassiterite phase was found in the films from XRD results. SEM observation exhibited that coating structure becomes different characteristics depending on amount of Cu doping of solutions and film thickness. Refractive indexes, band gaps, absorbance, transmittance and gas sensivity values of SnO2 thin films, containing different amount of Cu, were determined and their variations were obtained.
NaturalLanguageKeyword :
Sol , gel , Cu:SnO2 , Semiconductivity , Gas sensors
