Record number

11222

Author

Gatzen Hans H.

Creator Role

نويسنده

AlternativeTitle

Micro and nano fabrication: tools and processes

Publication

Heidelberg Springer

Published Year

2015

Fierst Pages

xxvi

Main Pages

519

Collation

xxvi، 519، illus، tables، som col

Reprint

False

Print issue

0

Added entries

AU نويسنده Saile Volker , AU نويسنده Leuthold Jurg , AU مقدمه نویس Muller Richard S.

Subject

Microelectromechanical systems

Class

621

Number

381

CutterNumber

G 32

ISBN

978-3-662-44394-1

Language

انگليسي