بررسي خواص نوري، ساختاري و الكتريكي لايه‌هاي نازك Cu-DLC لايه نشاني شده به روش كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم و فركانس راديويي همزمان

در اين مقاله ساختار شيميايي و خواص الكتريكي، نوري لايه‌هاي آمورف كربني با تلقيح مس كه با استفاده همزمان از روش كندوپاش مغناطيسي جريان مستقيم و فركانس راديويي سنتز شده‌اند و رابطه آنها با عناصر فعال شيميايي توليد شده در پلاسما مورد بررسي قرار گرفته است. اثر تغيير توان منبع تغذيه جريان مستقيم با ثابت نگه داشتن توان منبع تغذيه فركانس راديويي بر روند تغييرات لايه مطالعه شده است. طيف‌سنجي رامان نشان مي‌دهد در ساختار پيوندي مكان پيك G و نسبت ID/IG افزايش مي‌يابد كه بيان كننده كاهش ساختار شيميايي SP3 نسبت به ساختار SP2 مي‌باشد. طيف‌سنجي نشري نوري (OES) به منظور بررسي گونه‌هاي فعال شيميايي غالب در محيط پلاسما نيز انجام شد و نشان داد با افزايش توان منبع تغذيه جريان مستقيم شدت پيك‌هاي گونه‌هاي فعال Cu در لايه‌ها كاهش و گونه هاي فعال شيميايي كربني افزايش مي‌يابند. همچنين نتايج نشان مي‌دهد كه با افزايش توان منبع تغذيه جريان مستقيم متصل به چشمه گرافيت از 60 تا 120 وات و همچنين ثابت نگه داشتن توان منبع تغذيه فركانس راديويي متصل به چشمه مس در توان 10 وات ضريب جذب نوري لايه‌ها روند افزايشي دارد. گاف نوار انرژي لايه‌ها با يك روند افزايشي ازev 0.69 به ev 1.37 همراه مي‌باشد. ضريب شكست لايه‌هاي كه با استفاده از روش بيضي‌سنجي مورد آناليز قرار گرفته است يك روند كاهشي از 1.85 تا 1.24 را با افزايش توان نشان مي‌دهد