بررسي تاثير تنش هاي موضعي بر روي ديافراگم سيليكاني طرح دار روي حسگرهاي پيزوالكتريك نانو سيم هاي اكسيد روي

خواص الكتريكي مواد پيزوالكتريك نانوساختاري توجه بسياري از محققين را در دهه گذشته به خود جلب كرده است. اين ويژگي­ها در ميكرو حسگرهاي پيزو الكتريك استفاده مي­شود. نيروي محركه مكانيكي معمولاً نتيجه تماس بين سطح پيزوالكتريك و يك جسم خارجي است. در اين مقاله، تاثير نيروي محركه مكانيكي با استفاده از يك موج هوايي (آكوستيك) و يا خلاء بر روي ديافراگم سيليكاني، مورد بررسي قرار گرفته شده است. تنش هاي موضعي ايجاد شده روي ديافراگم در اثر برخورد يك موج هوايي، تاثير قابل توجهي روي ولتاژ پيك تا پيك حسگر پيزوالكتريك دارد كه با اندازه گيري تغييرات اين پارامتر مي توان شدت موج هوايي را بدست آورد. براي بررسي اين موضوع، ديافراگم بدون طرح و طرحدار كه شامل ميكروساختارهاي سيليكاني است مورد بررسي قرار گرفته شد و مشخص شد كه ساخت يك حسگر پيزوالكتريك روي يك ديافراگم نازك و طرح دار مي­تواند باعث افزايش ولتاژ پيك تا پيك تا حدود 3/1 برابر گردد. آشكارسازي اين تنش­ها با استفاده از ماده پيزوالكتريك لايه نشاني شده روي ديافراگم نازك و منعطف، مي­تواند به عنوان يك ميكروفن پيزوالكتريك و يا يك فشار سنج عمل كند كه وجود ميكروساختارها روي ديافراگم باعث افزايش حساسيت آنها خواهد شد.