بررسي پارامترهاي موثر برچگالي نانولوله هاي كربني عمودي سنتزشده به روشCVD

Investigation of Effective parameters on the Density of Vertically-Aligned Carbon Nanotubes Synthesized by CVD Method

در اين پژوهش سنتز نانولوله هاي كربني با استفاده از هيدروكربن اتانول و ساختار ساندويچي آلومينيوم/كبالت/ آلومينيوم با ضخامت 1نانومتر از كبالت به عنوان كاتاليست به روش رسوب بخار شيميايي CVD انجام گرفت. تاثير زير لايه، جريان اتانول و زمان سنتز بر چگالي و ساختار نانولوله هاي كربني مورد بررسي قرار گرفت. تصاويرSEM رشد چگالي پاييني از نانولوله هاي كربني با ساختارهاي اسپاگتي مانند و همچنين آمورف هاي كربني روي زير لايه هاي شيشه و مس نشان مي دهد. چگالي نانولوله هاي كربني روي زير لايه هاي سيليس و كوارتز افزايش يافت و ساختارهاي عمودي از نانولوله هاي كربني مشاهده شد. با كاهش و افزايش جريان اتانول از مقدار بهينهsccm) 8/0)، چگالي نانولوله هاي سنتز شده كاهش يافت و با افزايش زمان سنتز در جريان بهينه اتانول، چگالي نانولوله هاي كربني عمودي روي زير لايه هاي سيليس و كوارتز افزايش يافت.

In this study, carbon nanotubes (CNTs) was synthesized using ethanol as carbon source and sandwich structure of Al/Co/Al with 1nm Co thickness film as catalyst by chemical vapor deposition (CVD). The effect of the substrate, ethanol flow rate, and growth time on the density and structure of CNTs was investigated. SEM images show growth of low density of CNTs with spaghetti-like structure and also amorphous carbon upon glass and Cu substrates. The density of CNTs upon Si and quartz substrates was increased and vertically aligned CNTs (VACNTs) was seen. By decreasing and increasing of the ethanol flow rate from optimum amount of 0.8 sccm, low-density of CNTs with spaghetti-like structure was observed. By increasing the growth time from 5 min to 30 and 100 min, the density of VA-CNTs structure upon Si and quartz substrates was increased.