طراحي و اتصال عناصر يك سيستم سنسوري دو تشديدگر موج سطحي براي كار در دماي بالا با استفاده از موجبر هم صفحه

Design and Interfacing a Double Surface Acoustic Wave Sensor System at High temperature with Coplanar Waveguide

روش‌هاي اندازه‌گيري بي سيم با استفاده از سيستم‌هايي كه نياز به باتري نداشته باشند، در محيط‌هاي پر خطر داراي جذابيت بسياري است. در اين مقاله روش طراحي يك سيستم سنسوري با دو تشديدگر موج سطحي در دماي بالا بررسي شده است. روش طراحي القاگر مارپيچي و خازن اينترديجيت كه در مدار تطبيق امپدانس اين سيستم به كار مي‌روند، براي كاربردهاي دماي بالا معرفي شده است. نحوه اتصال اين عناصر در سطح دوم با استفاده از موجبر هم صفحه مورد بررسي قرار گرفته است. پياده‌سازي اين سيستم با استفاده از روش فيلم ضخيم انجام شده و در نهايت نتايج اندازه‌گيري آن تا دماي 410?C ارايه شده است.

The wireless measurement methods with batteryless systems are very attractive in harsh environments. In this paper the design method of a double surface acoustic sensor system at the high temperature is discussed. The design methods of meander inductor and interdigital capacitor, which are used in the matching circuit of the system, at the high temperature are introduced. The method of second level interconnection of these devices, using the coplanar waveguide is discussed. The implementation of this system by thick film method is mentioned and finally the measurement results of this system up to 410?C are presented.